什么是质量流量控制器——MFC的结构和基本原理

什么是质量流量控制器

质量流量控制器（以下简称MFC）顾名思义是控制质量流量的机器（质量流量计），与一般使用的测量、控制体积流量的机器测量原理不同。

关于体积流量，作为测量对象的流体由于“环境温度”和“使用压力”等的变化而产生体积变化，在测量正确的流量时，需要进行与变化量一致的修正，但质量流量通过测量流体的质量（重量），不需要根据使用条件的变化进行修正。

具有这种特性的MFC具有以下特征。

1. 即使体积流量因温度和压力的变化而波动，也可以稳定地控制质量流量。

2. 如果有质量流量，它也可以用于减压（负压）。

3. 可用于任何气体。

4. 由于在用传感器测量流量的同时控制阀门，因此具有高精度、出色的再现性和稳定性。

5. 控制都是电动的，适用于自动控制。

由于其优异的特性，MFC可以有效地应用于各个行业，尤其是对半导体制造业。因为在半导体制造过程中，工艺气体的高精度流量控制必不可少，而 MFC 最适合这种控制。未来，不仅半导体行业，燃料电池等相关领域对 MFC 的需求有望继续扩大。

MFC的结构和基本原理

MFC基本上由三个元素组成：
・传感器部分
・控制阀部分
・电控电路部分

如图所示为构成要素，供给MFC的气体首先通过传感器，传感器发出与其通过的质量流量成比例的电信号。

MFC的流动单元

MFC的流量单位最初是用质量流量（g）来表示的，但是由于气体流量测量的历史，目前都是用体积流量来表示。
在这种情况下，它表示为 0°C 和 1 atm（101.33 kPa）下的体积流量，通常使用SCCM（标准立方厘米每分钟）和 SLM（标准升每分钟）作为单位。