电感式测距传感器微型传感器IPRM 12I9506/S14
基本参数安装方式半齐平测量速度<1 mm / ms测量距离 Sd0…3 mm分辨率（RMS）< 0,08 µm(静态10 Hz)< 0,17 µm(动态520 Hz)< 0,013 µm (中心区域)线性误差± 150 µm重复精度（Sd）< 1 µm温漂±25 µm电气参数电源电压范围 +Vs15 … 30 VDC最大电流消耗（无负载）50 mA输出电路电流输出输出
基本参数
| 安装方式 | 半齐平 |
| 测量速度 | < 1 mm / ms |
| 测量距离 Sd | 0 … 3 mm |
| 分辨率（RMS） | < 0,08 µm (静态10 Hz) < 0,17 µm (动态520 Hz) < 0,013 µm (中心区域) |
| 线性误差 | ± 150 µm |
| 重复精度（Sd） | < 1 µm |
| 温漂 | ±25 µm |
电气参数
| 电源电压范围 +Vs | 15 … 30 VDC |
| 最大电流消耗（无负载） | 50 mA |
| 输出电路 | 电流输出 |
| 输出信号 | 0…20 mA |
| 负载电阻（+Vs最小） | < 100 Ohm |
| 负载电阻（+Vs最大） | < 400 Ohm |
| 压降 Vd | <7 VDC |
| 短路保护 | 是 |
| 反极性保护 | 是 |
机械参数
| 类型 | 圆柱形，螺纹版 |
| 尺寸 | 12 mm |
| 外壳长度 | 90 mm |
| 外壳材质 | 钢（9 SMn (Pb) 28/36） |
| 感应面材质 | 陶瓷 |
| 连接方式 | M12 接头 |
环境条件
| 工作温度 | 0 … +60 °C |
| 防护等级 | IP 67 |