Ohkura大仓 质量流量控制器MF1100B
规格機種マスフローメータマスフローコントローラ標準レンジ低価格品汎用品低価格品汎用品制御範囲MF1121BMF1111BMF1171B（NC）MF1181B（NO）MF1141B（NC）MF1151B（NO）精度定格0～5 SCCM 0～100 SCCM 0～2 SLM0～10 〃 0～200 〃 0～3 〃0～20 〃 0～300 〃 0～5 〃0～30 〃 0～500 〃 0～10 〃0～50
规格
| 機種 | マスフローメータ | マスフローコントローラ | ||
|---|---|---|---|---|
| 標準レンジ | 低価格品 | 汎用品 | 低価格品 | 汎用品 |
| 制御範囲 | MF1121B | MF1111B | MF1171B（NC） MF1181B（NO） | MF1141B（NC） MF1151B（NO） |
| 精度定格 | 0～5 SCCM 0～100 SCCM 0～2 SLM 0～10 〃 0～200 〃 0～3 〃 0～20 〃 0～300 〃 0～5 〃 0～30 〃 0～500 〃 0～10 〃 0～50 〃 0～1,000 〃 0～20 〃 | 0.1～5 SCCM 2～100 SCCM 0.04～2 SLM 0.2～10 〃 4～200 〃 0.06～3 〃 0.4～20 〃 6～300 〃 0.1～5 〃 0.6～30 〃 10～500 〃 0.2～10 〃 1.0～50 〃 20～1,000 〃 0.4～20 〃 | ||
| 制御範囲 | － | 2～100%F.S | ||
| 精度定格 | ±2%FS以下 | ±1.5%FS以下 | ±2%FS以下 | ±1.5%FS以下 |
| 直線性 | ±1%FS以下 | ±0.7%FS以下 | ±1%FS以下 | ±0.7%FS以下 |
| 再現性 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 |
| 応答時間 | 出力電圧が設定値の±2%F.S.以内への収束時間約3秒以内 | |||
| 最高動作圧力 | 1.0MPa | |||
| 耐圧 | 1.5MPa | |||
| 圧力損失 | 5.0kPa | |||
| 動作差圧 | － | 5SCCM～5SLM ： 34～275kPa 10～20SLM ： 69～275kPa | ||
| 流量設定 | － | 0～5V DC | 0～5V DC（標準） 1～5V DC（オプション） | |
| 出力信号 | 0～5V DC | 0～5V DC（標準） 1～5V DC（オプション） | ||
| 使用温度範囲 | 5～45℃（ガス温度も同じ） | |||
| 取付姿勢誤差 | ±0.5%FS以下（取り付け姿勢は自由） | |||
| リーク規格 | 1.013×10-9・m3/s(He)以下（標準） | |||
| 配管接続 | 1/4 スウェージロック（標準）， VCR（オプション） | |||
| 接ガス部材質 | SUS316，フッ素ゴム | SUS316，フッ素ゴム，フッ素樹脂 | ||
| 質量 | 約680g | 約800g | ||
| 消費電力 | 1VA以下 | 3VA以下 | ||
大仓电机株式会社成立于 1933 年 7 月，当时名为 "大仓电机研究所"，是衡美计算衡器株式会社的姊妹公司。
1943 年 12 月，公司更名为现在的大仓电机株式会社。
2018 年 5 月，公司获得 ISO 14001:2015 认证，成为一家同样致力于加强质量的公司。
公司的主要业务是制造和销售工业设备、控制和通信设备以及半导体制造设备。
公司活跃在工业设备、电力和供水等社会基础设施建设、热处理设备等广泛领域。
大仓电机株式会社以 "测量、通信和控制 "技术为基础，不断生产出让客户感到信赖和满意的产品。