XP-703DIII 半导体材料气体检测仪
特征检测半导体材料气体的微小气体泄漏。警报声(断续声)的快慢随著气体浓度的变化而逐渐变化,当浓度达到较高水平时,发出连续的声音,便于辨识气体泄漏的位置。一台装置可处理各种半导体材料气体(胂、磷化氢、乙硼烷、矽烷、氢气等)。比传统产品更小、更轻。机身小巧,可轻松握在手中。配备液晶显示屏,可轻松查看设备的状态,例如电池电量和泵浦状态。正面、底部两处设有警报灯,工作时轻松了解警报状况。相当于防护等级 I
特征检测半导体材料气体的微小气体泄漏。警报声(断续声)的快慢随著气体浓度的变化而逐渐变化,当浓度达到较高水平时,发出连续的声音,便于辨识气体泄漏的位置。一台装置可处理各种半导体材料气体(胂、磷化氢、乙硼烷、矽烷、氢气等)。比传统产品更小、更轻。机身小巧,可轻松握在手中。配备液晶显示屏,可轻松查看设备的状态,例如电池电量和泵浦状态。正面、底部两处设有警报灯,工作时轻松了解警报状况。相当于防护等级 I
检测半导体材料气体的微小气体泄漏。
警报声(断续声)的快慢随著气体浓度的变化而逐渐变化,当浓度达到较高水平时,发出连续的声音,便于辨识气体泄漏的位置。
一台装置可处理各种半导体材料气体(胂、磷化氢、乙硼烷、矽烷、氢气等)。
比传统产品更小、更轻。机身小巧,可轻松握在手中。
配备液晶显示屏,可轻松查看设备的状态,例如电池电量和泵浦状态。
正面、底部两处设有警报灯,工作时轻松了解警报状况。
相当于防护等级 IP22 (JIS C 0920)*。 *配备皮套时
符合CE标准
模型 | XP-703DIII | ||||
待检测气体 | 半导体材料气体(砷化氢、磷化氢、乙硼烷、矽烷、氢气) | ||||
气体采样方式 | 自动吸风式 | ||||
检测原理 | 热线式 半导体式 | ||||
胂 | 膦 | 乙硼烷 | 矽烷 | 氢 | |
可检测泄漏量 | 2.53×10 -7 Pa· m3 /s | 1.52×10 -7 Pa· m3 /s | 1.01×10 -7 Pa· m3 /s | 2.53×10 -7 Pa· m3 /s | 5.07×10 -7 Pa· m3 /s |
可检测浓度 | 0.5ppm | 0.3ppm | 0.2ppm | 0.5ppm | 1.0ppm |
回应时间 | 10秒内(浓度为可侦测浓度三倍的气体的灵敏度设定[4]) | ||||
显示方式 | 间歇性声音和闪烁警报灯 | ||||
电源 | 2 颗 AA 碱性电池 | ||||
连续使用时间*1 | 约12小时(AA碱性电池)[常温常湿下] | ||||
防护等级*2 | 相当于IP22 | ||||
工作温度限制 | 0℃~+40℃ 85%RH以下(无凝血) | ||||
外形尺寸 | W38×H130×D32mm(不含突出部) | ||||
大量的 | 约190公克(含电池和皮套) | ||||
标准配件 | 皮套、排水过滤器、更换滤芯、配件、检查气体、手带、2 颗 AA 碱性电池等。 |
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