AZM-G12 高频交流离子喷嘴 韩国东日技研工业解决方案

产品概述

AZM-G12 是韩国东日技研（DONG IL TECHNOLOGY）旗下 AZM 系列高频交流离子喷嘴的选装型号。该产品采用高频交流电晕放电技术，通过内置高压模块产生 ±4.0kV 的电离电压，将压缩空气电离后高速喷出，快速中和物体表面的静电电荷。AZM-G12 在标准款 AZM-G11 的基础上标配了空气调节阀，支持 0~100% 无段式气流精准调控，适用于对气流控制有更高要求的精密制造场景。

产品结构超薄纤巧、集成度高，内置高压模块无需外接高压电缆，是自动化设备嵌入式静电消除应用的理想选择。

特征

描述

规格

使用场景

AZM-G12 凭借超薄机身、内置高压模块和精准气流调控能力，广泛应用于以下场景：

• 晶圆切割除尘：半导体制造环节中，晶圆切割产生的粉尘颗粒需及时清除，避免静电吸附影响良率。

• 注塑件无痕喷涂：注塑件喷涂前需消除表面静电，防止漆面出现针孔、颗粒等缺陷。

• 精密光学镜片清洁：光学镜片表面静电易吸附微尘，影响透光率和成像质量。

• 医疗耗材包装：医疗耗材生产包装过程中，静电吸附会导致异物污染，影响产品洁净度。

• 面板局部处理 / 雷射修边后除电：面板制程中局部静电消除与激光加工后的碎屑防飞散。

• CVD 腔体 / EUV 轨道：半导体先进制程设备中的狭小空间静电消除。

• 传送夹具除电：自动化产线中夹具/载具的定点静电消除。

客户痛点

1. 安装空间受限：传统静电消除设备体积庞大，难以在自动化设备内部或狭小空间中安装。

2. 高压电缆安全隐患：外置高压模块需要铺设高压电缆，不仅增加布线复杂度，还存在漏电、磨损等安全隐患。

3. 气流无法精准控制：普通离子喷嘴不具备气流调节功能，可能导致气体浪费或吹力过大影响工艺。

4. 维护复杂、停机时间长：放电针更换困难，清洁不便，设备维护耗时影响生产效率。

5. 静电消除效率不稳定：部分产品离子平衡偏差大，除静电效果波动，影响产品良率。

6. 臭氧释放超标：某些电离方式会产生较高浓度臭氧，不适用于洁净室环境。

解决方案

✅ 超薄一体化设计，适配狭小空间：AZM-G12 机身厚度仅约 23.1mm，超薄结构支持在自动化设备内部、狭窄工位轻松安装。无需外置高压模块，简化了系统集成难度。

✅ 内置高压模块，零高压布线风险：高压模块完全内置于喷嘴本体，无需铺设高压电缆，彻底消除电缆磨损、漏电等安全隐患，同时降低布线成本与维护负担。

✅ 标配空气调节阀，气流 0~100% 无段调节：AZM-G12 在 G11 基础上标配了内置控制阀，支持 0~100% 无段式气流精准调控，可节省气体高达 50%，避免过压气流对洁净室环境造成扰动。

✅ 易清洁结构 + 钨针可更换，维护便捷：放电针采用钨针材质，可独立更换，无需工具即可快速维护。机身结构设计便于日常清洁，大幅缩短停机时间。MTBF > 30,000 小时，耐用性优异。

✅ 高频交流电晕放电，除电快速稳定：采用 50kHz 高频交流 + ±4.0kV 发射极电压，离子产生密度高、除电速度快。100mm 距离下 0.6 秒即可将 1000V 静电降至 ±40V，离子平衡控制在 ±15V 以内，确保稳定的静电消除效果。

✅ 超低臭氧释放，满足洁净室标准：臭氧浓度 ≤ 0.05ppm，超越 ISO Class 3 洁净室标准，适用于半导体、光学、医疗等对洁净度要求严苛的生产环境。