FC-R7700CD 4V N2 200SCCM 质量流量控制器 Hitachi Metals日立金属
FC-R7700系列采用高速响应、高灵敏度的传感器，随着技术的提升，在工作中发挥出优异的性能，采用特有技术开发的常开或常闭电磁阀，实现了高速应答，防止了设定过程中的过冲和欠冲，保证设定值在2秒内达到安定的效果。产品系列具有优秀的统一性和可靠性，目前世界上约4万只运行在客户现场，涉及各行各业，其一年不到0.5%的返修率，广受客户赞誉。
Aera MFC FC-R7700 系列的特点
高速响应─输入设定值后2秒内流量稳定
弹性体（橡胶）密封件
VCR、VCO 和 Swagelok 兼容连接
满量程流量范围从 10sccm 到 200slm
常闭或常开电磁控制阀
外部泄漏率 1x10-7Pa・m3/sec (He) 以下
行业应用
广泛用于半导体、液晶、数据存储装置、工业真空设备，工业用镀膜、光纤通讯、实验仪器、科学分析仪器等行业中，对离子扩散、溅射、气体燃烧，CVD、PVD、PECVD。VOD/VAD拉丝工艺，表面处理等工艺中的非腐食性气体进行过程控制。
主要特点
模拟信号控制
高精度
快速应答
橡胶密封
高重复性
高可靠性
规格指标
| 主要参数 | FC-R7700CD/FC-R7700D | FC-R7710CD/FC-R7710D | FC-R7720CD/FC-R7720D |
|---|---|---|---|
| 工作压差 | 10sccm~5slm | N/O: 6~20SLM N/C: 6~50SLM | 35~200slm |
| 响应时间 | < 1秒 | < 2秒 | |
| 精度 | ≤ ±1% F.S. | ≤ ±2% F.S. | |
| 线性精度 | ≤ ±0.5% F.S. | ≤ ±1% F.S. | |
| 重复精度 | ≤ ±0.2% F.S. | ||
| 泄漏率 | 1 × 10⁻⁶ atm-cc/sec He | ||
| 控制范围 | 2 ~ 100% F.S. | ||
| 工作压差 | 49 ~ 275KpaD | 69 ~ 275KpaD 98 ~ 275KpaD | 147 ~ 275KpaD |
| 最大耐压 | 1Mpa | ||
| 温度范围 | 5 ~ 45°C | ||
| 备注 | N/O: 常开阀门, N/C: 常闭阀门 F.S. 30SLM时的精度是 ≤ ±1% F.S. 150SLM时的量程范围是5~100%, F.S. 150SLM以上启动工作压差为195 ~ 295Kpa | ||
物理指标
| 物理指标 | FC-R7700CD/FC-R7700D | FC-R7710CD/FC-R7710D | FC-R7720CD/FC-R7720D |
|---|---|---|---|
| 阀门类型 | 常开或常闭 | ||
| 密封材料 | 氟橡胶 / 氧丁橡胶 | ||
| 接气材质 | SUS 316L, PTFE, 氟橡胶, 氧丁橡胶 | ||
| 标准接口 | 1/4" VCR, 1/4" VCO, 1/4" Swagelok | 3/8" VCR, 3/8" Swagelok | |
| 安装方式 | 适合任何方向安装 | 电气向上部安装 | |
| 重量 | 1.0kg | 2.2kg | |
电气参数
| 电气参数 | FC-R7700CD/FC-R7700D | FC-R7710CD/FC-R7710D | FC-R7720CD/FC-R7720D |
|---|---|---|---|
| 工作电压 | +15VDC ±2% 25mA, -15VDC ±2% 180mA | +15VDC ±2% 25mA | |
| 工作功率 | 3.1W | 3.5W | |
| 输入信号 | 0-5VDC | ||
| 输出信号 | 0-5VDC | ||
产品选型
