Aera FC-R7800系列质量流量控制器 金属密封型 Hitachi Metals日立金属
高精度、高可靠性金属密封MFC FC-R7800系列不仅提供高精度的流量控制,而且由于采用金属密封,因此具有出色的气密性,使其成为适合主要气体控制应用的系统。 行业标准或 Aera 专有电气连接的选择提供了便利,并允许快速轻松地更换现有质量流量控制器 (MFC)。
高精度、高可靠性金属密封MFC FC-R7800系列不仅提供高精度的流量控制,而且由于采用金属密封,因此具有出色的气密性,使其成为适合主要气体控制应用的系统。 行业标准或 Aera 专有电气连接的选择提供了便利,并允许快速轻松地更换现有质量流量控制器 (MFC)。
高速响应 - 输入设定值后,流量在 1 秒内稳定
耐腐蚀设计
使用金属密封
VCR 兼容连接
满量程流量范围从 10sccm 到 200slm
常闭或常开电磁控制阀
外部泄漏率 1x10-11Pa・m3/sec (He) 以下