Aera FC-DR980系列先进的数字质量流量控制器Hitachi Metals日立金属
Aera MFC FC-DR980的特点可选择的气体和流量范围 *模拟、模拟/数字、数字模式选择压电控制阀多种报警/诊断功能多种报警/诊断功能1x10-10气密性金属密封圈电解抛光、UHP 处理的接液表面* 兼容多气体和多量程型号。
Aera MFC FC-DR980的特点
可选择的气体和流量范围 *
模拟、模拟/数字、数字模式选择
压电控制阀
多种报警/诊断功能
多种报警/诊断功能
1x10-10气密性金属密封圈
电解抛光、UHP 处理的接液表面
* 兼容多气体和多量程型号。
