HTFM-30C08-266-MHG-HS支架组合面精度保证反射镜SIGMA KOKI西格玛光机光学元件
◦嵌入粘接反射镜后保证反射镜的面型精度。 ◦反射镜支架有高稳定型（MHG-HS）和量产型（MHG-MP）两种类型。 ◦这个产品可以使用在需要很高波面精度的光学系统或干涉仪中。
| 镀膜 | 多层电介质膜 |
|---|---|
| 表面质量 | 10−5 |
| 适用波长 | 266nm |
| 反射率 | ＞99.2％ |
| 支架型号 | MHG-HS30 |
| 质量 | 0.12kg |
| 主要材料 | 铝合金 |
| 外径 φD | φ30mm |
| 调整范围分辨率摆动 | ±3° |
| 调整范围分辨率旋转 | ±3° |
| 入射角度 | 45°±3° |
| 表面处理 | 黑色阳极氧化 |
| 分辨率摆动 | 约0.39°/周 |
| 分辨率旋转 | 约0.39°/周 |
| 有效直径 | 外径的80% |
| 反面 | 光学抛光 |
| 可动轴数 | 3轴 |
| 基板面型精度 | 支架粘接后 λ/10 |